ºñ°¡¿¬¼º, ¾×ü°¡½º, °í¾Ð°¡½º
 
(1) ¼øµµ ¡Â 99.999%
(2) H2O ¡Â 1ppm
(3) »êÇÔÀ¯·® ¡Â 0.1ppm
(4) CF4 ¡Â 10ppm
 
½Ç¸°´õ ÃæÀü·®(±â¾Ð/20¡É) ÀûÁ¤¹ëºê ¹ëºêÇüÅÂ
48A
47S
ÃÖ´ëÃæÀü·®=1.98kg/L DSP-2
D-52
SCV
22mm¥Õ¡¿14¼±
¡¿¿ì³ª»ç
ÃÖ´ë - 50kg
Ç¥ÁØ - 50, 40, 20kg
40kg(vp=20.7kg/§²G
10A
10S
ÃÖ´ë - 10kg
Ç¥ÁØ - 10, 5kg
10kg(vp=20.7kg/§²G
DSP-1 M18¡¿1.5
3/8MCG
10T  
 
(1)¸ô ºñÁß : 146.05
(2)ºñµîÁ¡ : -63.8¡É
(3)ºñÁß(°ø±â=1) : 5.11
(4)±â¾Ð : 0¡É = 11.7kg/§²G
            10¡É = 15.8kg/§²G
            20¡É = 20.7kg/§²G
            30¡É = 26.5kg/§²G
            40¡É = 33.2kg/§²G
(5)ÃæÀü°è¼ö : 0.91
(6)ÇüÅ : ¹«»ö
(7)³¿»õ : ¹«Ãë
(8)¿¬¼Ò¹üÀ§ :
(9)°¡¿ë¼º : 5.4cc/kg, H2O
(10)µ¶¼º(TLV) : 1,000ppm
(11)»ç¿ë°¡´É ¹°Áú(¿ë±â) : ´ë´Ù¼ö
(12)±Ý¼Ó »ç¿ë°¡´É
(13)Æø¹ß¹üÀ§ : ºñ¿¬¼Ò¼º
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