가스명
Name of Gas
순도(%)
Purity
분순물(ppm)
Impurities
용기(ℓ)
Cylinder
충전량
Contents
밸브규격
Valve Outlet
SiH₄
(모노실란)
99.9999 O₂<1, N₂<1,CH₄<0.1,
CO₂<0.1, H₂O<1,
H.C<0.1,CO <0.1,T-Cl<1
10 0.3kg, 0.5kg φ22-14山 左
47 2.5kg, 5kg,10kg
SiH6
(디실란)
99.99 O₂<0.5, N₂<2,
CO₂<0.1, THC<0.1,
H₂O<2, H₂<0.1
1 0.2kg φ22-14山 左
3.4 0.3kg, 0.5kg
10 1.2kg
SiCl₄
(테트라
클로로실란)
99.9999 SiHCl₃<1, SiH2Cl2<1,
SiH3Cl <1
10(SUS제) 10kg  
30(SUS제) 30kg
SiH₂Cl₂
(디클로로
실란)
99 SiHCl3<50, SiH2Cl2<1
SiF4<10, HCl<1
10(SUS제) 5, 10kg φ22-14山 左
40(SUS제) 40kg
SiF₄
(테트라플루
오르실란)
99.999 O₂<1, N₂<1
H₂<1, H₂O<1
3.4 0.3kg φ22-14山 左
10 1kg
47 5kg
 
 
 
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