각종 분석기의 보정, 공정관리, 품질관리용으로 사용되는 표준가스는 미량의 혼합과 분석의 정밀도가 가장 중요합니다.
각 레이져, 식품, 용접, 의료, 조명 등 각 산업 분야에서 다양하게 사용되는 혼합가스는 필요한 농도로 혼합된 2가지 이상의 고순도 가스로 이루어집니다.
산업용, 실험연구용으로 이용되고 있는 분광분석기, 가스크로마트그래피, 열전도형 분석기, 적외선 흡수 분석기 등 각종 분석기들의 교정 및 공정관리,
품질관리용으로 사용되므로 표준혼합가스(Standard Mixer Gases)는 가스의 혼합비율의 정밀도 및 분석치의 정확도가 요구됩니다.
| 농도 | 정밀도 |
|---|---|
| ≤ 5% | ±2%, ±1% |
| 0.1% ≤ 5% | ±5% |
| 0.01% ≤ 5% | ±8% |
| < 0.01% | ±10% |
| TYPE | 적용GAS | 비 고 |
|---|---|---|
| 파열판식(가용합금)일반 | 압축가스 | 일본, 미국, 한국 등 |
| 스프링식 | 액화가스 | 일본, 미국, 한국 등 |
| 안전변(무) | 맹독성 가스(AsH₃, PH₃, 단체가스 등) | 미국 |
| TYPE | 재 질 | 용 도 | 비 고 |
|---|---|---|---|
※ Diaphagm
|
Brss | 반도체용 제조용가스중 부식이 없는 단체 및 혼합가스에 사용 - AsH₃, PH₃, B₂H6 등 혼합가스 |
|
| Ni | 제조용 반도체 가스중 독특한 성질을 가지고 있는 가스에사용 - WF₃ |
||
| SUS | 제조용 반도체 가스중 고순도 단체 성 가스에 사용 - SiH₄,PH₃, NH₃, BF₃등 |
부식성이 없는 반도체 제조용 단체 및 혼합가스에 사용되는 밸브도 SUS로 교체되고 있음 |
표준가스는 농도치의 경시 변화가 없는 것을 공급하도록 최선을 다하고 있지만, 가스의 성분 및 농도에 따라서 변화가 생기므로 검정일자 및 유효기간을 표시함과 동시에 보증기한을 다음과 같이 정하고 있습니다.
단, 보증기한이 지난 표준가스는 반드시 재점검하여 사용하십시오.
| 가스조성 | 농도 | 보증기한 |
|---|---|---|
| CO₂/N₂ | 10ppm 이상 | 1년 |
| CO/N₂ | 100ppm 이상 | 1년 |
| CO₂/N₂ | 100ppm 이상 | 6년 |
| C₃H8/N₂ | 10ppm 이상 | 1년 |
| C₃H8/N₂ | 10ppm 이상 | 6년 |
| C₃H8/Air | 20ppm 이상 | 1년 |
| C₃H8/Air | 10ppm 이상 | 6년 |
| NO/N₂ | 250ppm 이상 | 1년 |
| NO/N₂ | 250ppm 이상 | 3~6년 |
| SO₂/N₂ | 250ppm 이상 | 1년 |
| SO₂/N₂ | 250ppm 이상 | 3~6년 |
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